目前，包括湖北武大有机硅新材料股份有限公司在内的国内相关单位，正分别从直接法烷氧基硅烷、无氯硅烷法多晶硅、炭热还原法多晶硅和物理法多晶硅等多条技术路线加快新体系的工业化研究，主要关键技术已进入工业化放大阶段，上海、江苏、福建等地有关单位的合作研究也已随之展开。

　　现有实践表明，使用新工业体系生产的多晶硅综合成本约为每吨10万~15万元，大规模工业化后的实际成本更低，仅为国内现有水平的1/5左右。

　　据介绍，这种新工业体系是在综合了直接法烷氧基硅烷、无氯硅烷法多晶硅、炭热还原法多晶硅和物理法多晶硅等多种技术路线的基础上提出的。与目前通用的改良西门子法和新硅烷法不同，该体系采用成本更低、无腐蚀的三烷氧基硅烷替代三氯氢硅作为基础原料，采用醇类替代氯作为循环物料，通过无氯法制得中间产物单硅烷，避免了设备腐蚀问题，投资成本大幅降低，还可直接使用单硅烷发展薄膜电池。同时，该体系还采用效率更高、成本更低的流化床还原技术替代西门子法中的高能耗、难控制的气相沉积工艺，使系统能耗大幅降低。

　　在副产物的处理上，新体系也有所突破：副产物四烷氧基硅烷在脱醇后通过炭热还原法得到硼、磷含量极低的高纯多晶硅，与普通物理法多晶硅相比，其原料杂质水平极低且可控，产品品质因此大幅提高；后续工艺回收的醇类可回到起始环节作为原料，可实现对环境“零排放”，同时提高了原料使用效率，从根本上降低了多晶硅原料成本，并解决了四氯化硅处理问题。