东莞市政府设立了东莞市重大科技专项，并制定出台了《东莞市重大科技专项资助计划操作规程》，开展重大关键共性技术攻关、重大战略产品开发、重大科技示范工程以及科技创新平台，东莞市拟定了当年市重大科技专项项目申报指南，将对《第三代半导体碳化硅外延晶片研发及产业化》等项目立项资助。